АЙЛЕНДИЯ, Нью-Йорк, 2 октября 2025 г. – Компания Festo продемонстрировала объединённый рабочий процесс для производства полупроводников, уделив особое внимание критически важным процессам обработки пластин. В последнем практическом опыте компании показано, как её инновационные компоненты автоматизации повышают точность, эффективность и надёжность производства пластин.

Центральный узел: обработка и выравнивание пластин

В основе новой демонстрационной модели Festo лежит центральный модуль-концентратор, который запускает перемещение полупроводниковой пластины. Оснащённый системой перевёрнутого портала, этот концентратор представляет собой экономичную альтернативу традиционным роботам SCARA для захвата и перемещения пластин. Портал извлекает пластины из специализированных транспортных контейнеров с фронтальным открыванием (FOUP) и быстро и точно перемещает их, обеспечивая быструю и надёжную транспортировку из хранилища на производственные линии.

Портал оснащен уникальным концевым эффектором пластин, интегрированным с выравнивателем пластин – революционным инструментом, объединяющим захват пластин и субмикронное выравнивание в одном компактном устройстве. Это снижает сложность системы и гарантирует точное позиционирование перед передачей пластин на следующий этап обработки.

Химическая обработка и покрытие

После обработки в центральном концентраторе пластины могут быть направлены в модуль 1, где имитируются процессы жидкостной химии. Рабочий процесс начинается с продувки FOUP с использованием регуляторов массового расхода (MFC) Festo для поддержания среды без загрязнений перед экспонированием пластин.

Затем пластины загружаются в станцию нанесения покрытия, где система обратного всасывания Festo в сочетании с электрическими линейными осями обеспечивает точное перемещение сопла по поверхности пластин. Эта система обеспечивает равномерное нанесение химических покрытий, минимизируя отходы и повышая качество продукции.

Вакуумная обработка и микропозиционирование

В качестве альтернативы пластины могут быть перемещены в Модуль 2, где демонстрируются вакуумные процессы, такие как сухое травление. Здесь технология Festo управляет плавным открытием и закрытием щелевых и запорных клапанов, обеспечивая плавный ввод пластин в вакуумные камеры.

Внутри камеры пневматические подъёмные штифты аккуратно позиционируют пластины на держателях. Демонстрация также демонстрирует пневматическую систему микропозиционирования, способную устанавливать фокусировочные кольца с микронной точностью, демонстрируя точный контроль, необходимый для современного производства полупроводников.

Связанные инновации для совершенства полупроводников

Эта взаимосвязанная демонстрация подчеркивает, как компоненты Festo — от экономичных порталов до интегрированных центровщиков и прецизионных систем управления потоками — работают слаженно, повышая выход продукции, точность и надежность в современном производстве полупроводников.

Компания Festo играет ключевую роль в полупроводниковой промышленности, поставляя важнейшие компоненты и решения как для начальных, так и для конечных процессов. Компания предлагает следующие продукты:

• Бережная и точная обработка пластин
• Высокоэффективные системы продувки азотом (N₂)
• Компоненты, совместимые с чистыми помещениями
• Цифровизация, процессы на основе искусственного интеллекта и предиктивное обслуживание
• Ведущие в отрасли программы обучения и развития персонала

Для получения более подробной информации посетите страницу решений Festo в области полупроводников в раскрывающемся меню «Решения» на веб-сайте компании или свяжитесь с торговым представителем или партнером по дистрибуции Festo.